Ventosa porosa in ceramica-semiconduttore-ceramica al carburo di silicio

Caratteristiche del materiale

Non facile da deformazione, resistenza alla corrosione, resistenza alle alte temperature, facile da pulire

Campi di applicazione

Semiconduttore

Applicazione specifica

Adsorbimento del wafer della macchina per tracciare

Difficoltà nella lavorazione

Elevata planarità

Flusso del processo

Polvere - granulazione - stampaggio - sinterizzazione - lavorazione fine - rilevamento - pulizia