Porozni silicijum karbid keramika-poluprovodnik-keramički sisalj

Karakteristike materijala

Nije lako deformirati, otpornost na koroziju, otpornost na visoke temperature, lako se čisti

Polja primjene

Semiconductor

Specifična primjena

Adsorpcija vafla na mašini za skribovanje

Poteškoće u obradi

Visoka ravnost

Tok procesa

Prah - granulacija - oblikovanje - sinterovanje - fina obrada - detekcija - čišćenje